刘玲

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：掩模超分辨光刻湿法腐蚀衍射更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程文化科学更多>>
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晶圆金属表面纳米颗粒暗场检测系统设计被引量：1
《中国激光》2023年第22期90-100,共11页邓泉 赵泽宇 林鹤 刘玲 李夏楚秦 杨根森 罗先刚 
国家自然科学基金(62005288);国家重点研发计划(2021YFA1401000)。
缺陷检测是基于金属膜层激发表面等离子体进行超衍射加工前的重要工艺流程,但目前先进空白晶圆缺陷检测设备光源多位于深紫外波段,恰好在KrF等深紫外光刻胶的感光范围内,检测带有该光刻胶的晶圆表面时易导致光刻胶感光而改性失效。针对...
关键词：测量 光学检测 散射测量 表面粗糙度 偏振调控 纳米颗粒 信噪比 
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