宋志杨

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：大连理工大学电子科学与技术学院更多>>
发文主题：虚拟仪器非线性校正微位移测量AFM系统设计更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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压电陶瓷管的微位移测量与非线性校正被引量：8
《光学精密工程》2009年第9期2212-2217,共6页董维杰 宋志杨 崔岩 
国家自然科学基金资助项目(No.90607002)
为了对原子力显微镜(AFM)中压电陶瓷管扫描位移进行非线性校正,提出了一种微位移测量与校正的简易方法。采用涡流位移传感器测量微位移,将其放大100倍以提高检测灵敏度;得到了压电陶瓷管的位移-电压曲线,其最高位移分辨率计算值为0.4 n...
关键词：压电陶瓷管 涡流位移传感器 位移测量 非线性校正 虚拟仪器 
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