王雷

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：东南大学电子科学与工程学院更多>>
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MEMS薄膜泊松比测试方法的研究进展被引量：1
《微纳电子技术》2013年第6期391-396,共6页王雷 李伟华 周再发 
国家重大科技专项资助项目(2011ZX02507)
综述了MEMS薄膜泊松比的测试方法,简述了测试薄膜泊松比的目的和意义。结合测试环境与测试手段详细地列举了几类常用的测试方法:拉伸法、纳米压痕法、鼓膜法、谐振法、弯曲法和扭转变形法,介绍了各种测试方法的发展过程,并分析了各种测...
关键词：微电子机械系统(MEMS) 薄膜 泊松比 在线测试 测试方法 
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