包达群

作品数:2被引量:1H指数:1
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供职机构:厦门大学萨本栋微米纳米科学技术研究院更多>>
发文主题:锆钛酸铅谐振器溶胶凝胶薄膜体声波谐振器结构参数优化更多>>
发文领域:电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
发文期刊:《传感技术学报》《光学精密工程》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划福建省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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锆钛酸铅薄膜的生长与表征
《光学精密工程》2013年第11期2893-2899,共7页张翊 潘峰 包达群 王建艳 郭航 
福建省自然科学基金资助项目(No.E0610031);国家863高技术研究发展计划资助项目(No2007AA04Z330)
研究了如何利用溶胶凝胶法制备锆钛酸铅(Pb(Zrx,Ti1-x)O3,PZT)薄膜,并对该薄膜的进行了表征测试。根据分子式设计了溶液的成分及配比,配制溶液后旋涂于钛(Ti)及铂/钛(Pt/Ti)基底上。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对不同热处...
关键词:锆钛酸铅薄膜 热处理 退火 铁电特性 溶胶凝胶法 
薄膜体声波谐振器的结构参数优化分析被引量:1
《传感技术学报》2008年第2期292-296,共5页张翊 包达群 郭航 
厦门大学引进人才科研启动基金资助(0000-X07191)
建立了微型薄膜体声波谐振器的等效电路模型,研究其整体频率响应特性。提出的等效电路模型考虑了氧化锌压电薄膜两端电极和作为支撑层的氮化硅薄膜对谐振器整体性能的影响,将它们作为传输线引入到等效电路当中。运用PSPICE软件研究了谐...
关键词:薄膜体声波谐振器 压电等效电路模型 结构参数优化 
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