陈文浩

作品数:1被引量:6H指数:1
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发文主题:电容式湿度传感器电容式叉指电极湿度传感器传感器研究更多>>
发文领域:自动化与计算机技术电子电信更多>>
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片上加热电容式湿度传感器研究被引量:6
《传感技术学报》2015年第3期315-319,共5页陈文浩 黄见秋 
国家863计划项目(2012AA040502)
提出了一种集成加热结构的电容式湿度传感器结构。对传感器的稳态加热特性进行了分析,并利用红外线热成像技术对传感器加热过程以及稳态温度响应进行了研究。在5 V电压信号的加热下,传感器温度上升约30℃,且温度分布均匀,传感器敏感区...
关键词:湿度传感器 电容式 加热特性 
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