黄志宏

作品数:1被引量:5H指数:1
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供职机构:武汉大学更多>>
发文主题:显微硬度氧化锌薄膜多弧离子镀力学性能ZNO更多>>
发文领域:金属学及工艺理学一般工业技术文化科学更多>>
发文期刊:《中国表面工程》更多>>
所获基金:国际科技合作与交流专项项目中国博士后科学基金更多>>
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CrAlTiN及CrAlTiSiN纳米多层复合涂层的制备及力学性能被引量:5
《中国表面工程》2013年第1期20-26,共7页付酮程 闫少健 田灿鑫 杨兵 黄志宏 付德君 
科技部国际合作项目(2011DFR50580);中国博士后科学基金会项目(2011M501229)
以金属Cr和AlTi合金为靶材料,在沉积过程中引入SiH4气体,用自行设计的多靶阴极电弧离子镀系统在单晶硅和硬质合金衬底上沉积了CrAlTiN和CrAlTiSiN硬质涂层。通过X射线衍射(XRD)和透射电镜(TEM)分析涂层的组织和形貌,结果表明:衬底偏压...
关键词:多弧离子镀 CrAlTiSiN 纳米多层膜 显微硬度 摩擦因数 
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