单霞

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金属/半导体接触孔噪声特性研究
《半导体技术》2005年第5期58-61,共4页单霞 杜磊 万长兴 包军林 
"十五"国防科技预研项目(41323060204)
通过对1mm金属/半导体接触孔链样品施加高应力的加速寿命试验和室温下的噪声频谱测量,得到了1/f噪声、10Hz点频功率谱特征及其变化规律。实验中发现应力前后1/f噪声10Hz点频功率谱有明显的变化。对比实验中电阻和噪声的变化,噪声变化量...
关键词：金属/半导体接触孔 1/f噪声 可靠性 
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