李兰兰

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发文主题：SUB纳米催化剂乙酰丙酮非贵金属过电位更多>>
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InSb晶片表面有机物沾污清洗的分子动力学研究
《红外》2023年第12期15-23,共9页马腾达 冯晓宇 宁提 王慧 李浩冉 徐港 檀柏梅 李兰兰 
清洗是混成式探测器芯片器件制造过程中的一道关键工序。探测器芯片表面所吸附的有机物沾污是清洗的主要目标。使用第一性原理与分子动力学相结合的方法研究了丙酮、乙酸乙酯对InSb晶面有机物沾污(主要成分为502)的清洗机理。第一性原...
关键词：INSB 清洗 混成式芯片 第一性原理 分子动力学 
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