任建坤

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多层交替沉积后退火处理MgB_2超导薄膜上约瑟夫森结的制备
《科学通报》2012年第7期498-505,共8页邓辉 戴倩 于海峰 魏彦锋 王福仁 任建坤 崔丽敏 吴玉林 赵士平 陈莺飞 李洁 郑东宁 
国家自然科学基金(10974229;10911130357;10974243);国家重点基础研究发展计划(2011CBA00106);国家重大科学研究计划(2009CB929102)资助
在多层交替(SiC/[Mg/B]5)沉积后退火处理的MgB2薄膜上用紫外光刻和Ar离子刻蚀制作出SQUID环路膜条,然后用聚焦离子束(FIB)刻蚀方法在SQUID的环路上制作了150~300nm之间不同尺寸的纳米微桥结构,并测量了其电阻温度(R-T)曲线和电流电压(I...
关键词:多层交替沉积后 退火 MGB2 薄膜 聚焦离子束刻蚀 约瑟夫森结 
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