傅东明

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题:光学检测离轴非球面三坐标测量机超光谱高分辨率更多>>
发文领域:理学机械工程化学工程航空宇航科学技术更多>>
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非球面面形精细重构方法研究被引量:3
《量子电子学报》2016年第1期1-7,共7页杨珂 傅东明 张金平 郑列华 
国家重点基础研究发展计划;2011CB013206~~
针对非球面反射镜在抛光初期干涉仪不能全口径检测面形误差的问题,提出一种三坐标测量机(CMM)和数字干涉仪组合测量以实现全口径波前复原的方法。将CMM与干涉仪测量数据组合,即面形误差以干涉测量为主,干涉检测不能复原的局部波前采用CM...
关键词:光学检测 波前复原 三坐标测量机 离轴非球面 
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