陈传科

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晶体硅太阳电池的制造工艺
《变频技术应用》2013年第2期96-96,113-115,共4页帅争峰 雷咸道 陈传科 王鹤 杨宏 
晶体硅太阳电池的制造过程是一个半导体的制造过程，融合了物理、化工、机电、自动化控制等多学科的知f识。晶体硅太阳电池的常规制造工艺流程如图1所示，从硅片到电池片，主要包括硅片来料检测、清洗制绒、扩散制结、刻蚀、去磷硅玻璃...
关键词：晶体硅太阳电池 制造工艺流程 制造过程 自动化控制 减反射膜 丝网印刷 测试分选 半导体 
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