韩司慧智

作品数：1被引量：9H指数：1
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供职机构：燕山大学环境与化学工程学院更多>>
发文主题：气相气溶胶透明导电薄膜电沉积ZNO薄膜更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《无机材料学报》更多>>
所获基金：河北省自然科学基金更多>>
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气溶胶辅助化学气相沉积制备Al掺杂ZnO透明导电薄膜被引量：9
《无机材料学报》2011年第6期607-612,共6页秦秀娟 韩司慧智 赵琳 左华通 宋士涛 
河北省自然科学基金(B2008000758)~~
采用气溶胶辅助化学气相沉积(AACVD)法在玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜.研究了Al掺杂(2at%～8at%)对ZnO薄膜结构及光电性能的影响.利用XRD、SEM、EDAX、紫外可见分光光度计等手段对样品进行测试.结果表明,制备的所有AZO薄膜均具...
关键词：气溶胶 化学气相沉积法 Al:ZnO 透明导电薄膜 
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