张晓

作品数:1被引量:6H指数:1
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基于金属氧化物的乙醇检测气敏材料的研究进展被引量:6
《化工进展》2019年第7期3207-3226,共20页张晓 徐瑶华 刘皓 魏峰 苑鹏 
金属氧化物型半导体气体传感器是目前常用的乙醇检测手段,深入研究和改进金属氧化物型半导体材料是提升传感器性能的重要方式。本文首先论述了气敏检测的机理和影响因素,并综述了近年来发展的主要金属氧化物型半导体气敏材料,重点介绍...
关键词:金属氧化物型半导体材料 乙醇 气体 氧化 微电子学 
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