杨正川

作品数：1被引量：1H指数：1
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SiO钝化膜制备工艺技术被引量：1
《仪表技术与传感器》2004年第11期5-6,共2页李绍恒 王晓雯 杨正川 吴东阁 
介绍了利用真空蒸镀的方法制作SiO钝化膜的工艺技术,并对工艺中的关键工艺、出现的问题进行了分析,给出了解决方案。最后介绍了SiO作为钝化膜在低功耗磁阻传感器中的成功应用,包括SiO的蒸发工艺参数、光刻腐蚀工艺。低功耗磁阻传感器的...
关键词：SIO 薄膜 钝化 工艺 
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