瞿春艳

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供职机构：北京科技大学材料科学与工程学院材料物理与化学系更多>>
发文主题：氧化铬开裂射频磁控溅射硬质薄膜更多>>
发文领域：化学工程更多>>
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氧化铬硬质薄膜的开裂行为研究
《科技信息》2006年第01X期4-5,共2页瞿春艳 王燕斌 杨会生 熊小涛 
硬质薄膜的可靠性研究对其应用有重要的意义。本文采用压痕法研究了射频反应磁控溅射制备的氧化铬薄膜的开裂行为，结果表明当载荷较低时，厚的薄膜抗开裂性能比较好，但是当载荷超过一定值以后，厚的薄膜更容易开裂。镀前如果基体等离...
关键词：氧化铬薄膜 射频磁控溅射 开裂 
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