胡航

作品数：1被引量：13H指数：1
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供职机构：吉林大学材料科学与工程学院超硬材料国家重点实验室更多>>
发文主题：内应力热阴极微裂纹更多>>
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热阴极DC-PCVD方法制备的金刚石厚膜的生长特性和内应力被引量：13
《新型炭材料》2003年第1期65-68,共4页金曾孙 姜志刚 胡航 曹庆忠 
国家863新材料领域资助项目
　采用热阴极DC PCVD(DirectCurrentPlasmaChemicalVaporDeposition)方法制备出大尺寸高质量的金刚石厚膜,研究了金刚石厚膜的生长特性和内应力状态。由热阴极DC PCVD方法制备的金刚石厚膜大多数为〈110〉取向,表面显露面主要是(100)面...
关键词：制备 热阴极 DC-PCVD 金刚石厚膜 生长特性 内应力 
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