郭德政

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：西安交通大学电子与信息工程学院电子科学与技术系更多>>
发文主题：单纯形法像散最优化设计电子光学系统优化设计更多>>
发文领域：理学电子电信机械工程更多>>
发文期刊：更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
用于投射式电子束曝光系统的磁浸没透镜的优化设计
《真空科学与技术》2001年第4期315-318,共4页程敏 唐天同 姚振华 郭德政 
国家自然科学基金资助项目 (No .6 99710 19)
以磁浸没透镜的电流密度值的大小为优化参量 ,以成像系统的轴上像散为目标函数 ,利用单纯形优化法对用于投射式电子束曝光系统的新型磁浸没透镜进行了优化设计。结果表明 ,目标函数由未经优化前的 35 8.187nm降低到 5 0 .6 93nm。同时...
关键词：磁浸没透镜 单纯形法 轴上像散 最优化设计 投射式电子束曝光系统 电子光学系统 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部