柴俊一

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:北京大学物理学院人工微结构与介观物理国家重点实验室更多>>
发文主题:ITO电极阳极氧化铝保护层英文更多>>
发文领域:一般工业技术更多>>
发文期刊:《物理化学学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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利用钛保护层在ITO电极上直接制备大面积的超薄氧化铝膜(英文)被引量:1
《物理化学学报》2011年第3期749-753,共5页肖立新 段来强 柴俊一 王芸 陈志坚 曲波 龚旗煌 
supported by the National Found for Fostering Talents of Basic Science(NFFTBS)(J0630311);National Natural Science Foundation of China(10934001,60907015,10821062);National Key Basic Research Program of China(973)(2007CB307000,2009CB930504)~~
通过磁控溅射并引入钛保护层,利用在0.3mol·L-1硫酸中20V电压下二次阳极氧化,在氧化铟锡(ITO)导电玻璃衬底上直接制备了超薄(约140nm,为阳极氧化前Al厚度的一半)、大面积(约4cm2)的多孔阳极氧化铝(AAO).扫描电子显微镜结果表明生成的...
关键词:阳极氧化铝 薄膜 氧化铟锡透明电极 钛保护层 磁控射频溅射 
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