倪智琪

作品数：1被引量：5H指数：1
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SOI单晶硅压力传感器模拟计算与优化设计被引量：5
《传感技术学报》2003年第1期92-95,共4页倪智琪 姚素英 张生才 赵毅强 张为 张维新 
利用有限元分析方法、借助 ANSYS软件 ,对 SOI单晶硅压力传感器进行一系列的分析和计算机模拟 ,探讨了传感器应变膜在固定宽度或固定面积条件下、宽长比对理论输出的影响 ,以及应变膜厚度对理论输出的影响 ,给出了设计应变膜的优化方案 ...
关键词：硅压力传感器 ANSYS 相对误差 膜厚比 宽长比 
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