李尧

作品数:1被引量:4H指数:1
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GaAs基半导体激光器真空解理钝化工艺研究被引量:4
《半导体光电》2014年第6期1013-1015,1049,共4页王鑫 曲轶 高婷 徐正文 赵懿昊 刘素平 马骁宇 李尧 
国家自然科学基金委员会和中国工程物理研究院联合基金项目(U1330136)
对GaAs基半导体激光器真空解理钝化工艺进行了研究,发现在高真空条件下解理和钝化GaAs基半导体激光器能有效减少激光器腔面缺陷,从而抑制非辐射复合。通过测试光致发光(PL)谱线和X射线光电子能谱(XPS)发现,经过超高真空解理钝化的GaAs...
关键词:半导体激光器 真空解理 钝化 腔面 
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