云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 徐浩

徐浩: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：南京航空航天大学材料科学与技术学院更多>>; 发文主题：AL多晶钝化等离子体增强原子层沉积更多>>; 发文领域：一般工业技术更多>>; 发文期刊：《真空科学与技术学报》更多>>; 所获基金：江苏省研究生培养创新工程项目江苏高校优势学科建设工程资助项目国家自然科学基金更多>>

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等离子体增强原子层沉积Al_2O_3钝化多晶黑硅的研究: 《真空科学与技术学报》2015年第1期105-108,共4页蒋晔沈鸿烈李杰岳之浩张磊舒栩宋扬徐浩邹健; 国家自然科学基金项目(61176062);江苏省前瞻性联合研究项目(BY2013003-08);江苏省高等学校大学生创新创业训练计划项目(201310287041X);江苏省研究生培养创新工程(KYLX-0257);江苏高校优势学科建设工程资助项目; 黑硅的纳米结构可以大大降低硅表面的入射光反射率,同时由于比表面积的增加使其钝化成为难题,从而影响其太阳电池的性能。等离子体增强原子层沉积(PEALD)法沉积的Al2O3钝化层具有良好的保型性和致密性,适用于黑硅纳米微结构的钝化。本...; 关键词：等离子体增强原子层沉积黑硅钝化减反射