云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 文娇

文娇: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>; 发文主题：SI/SIGE/SISI/SIGE互扩散热载荷更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《功能材料与器件学报》更多>>; 所获基金：上海市自然科学基金国家自然科学基金更多>>

检索结果分析

共条记录，以下是1-1

全选清除导出

视图：

排序：

热处理中Si/SiGe/Si界面互扩散被引量：1: 《功能材料与器件学报》2014年第6期205-208,共4页文娇刘畅俞文杰张波薛忠营狄增峰闵嘉华; 上海市自然科学基金(项目编号:12ZR1453000;12ZR1453100;12ZR1436300);国家自然科学基金(项目编号:61306126;61306127;61106015)资助; 利用高分辨率X射线衍射(HRXRD)和拉曼光谱(Raman spectrum)研究了由扩散引起Si/Si Ge/Si异质结中Si/Si Ge异质界面互混的现象。结果表明:应变弛豫前Si/Si Ge异质界面互混程度随热载荷的增加而增强;Si/Si Ge异质界面的硼(B)浓度梯度抑制...; 关键词：Si/SiGe互扩散热载荷硼浓度梯度