刘迎春

作品数:1被引量:9H指数:1
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双端石英音叉力敏传感器的原理与设计被引量:9
《山东大学学报(自然科学版)》2000年第3期282-288,共7页岳书彬 孙秀英 秦自楷 刘迎春 丁福玲 
对双端石英音叉横向弯曲振动的原理、力频特性、激励方式、电极的设置、制备方法及实验结果进行了深入的分析与讨论 .用光刻、化学腐蚀、离子溅射和激光调频等技术在一个石英片上可同时设计和生产出几十个甚至上百个超小型的双端石英音...
关键词:石英 双端音叉 横向弯曲振动 力敏传感器 原理 
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