谭臻

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:东南大学材料科学与工程学院江苏省先进金属材料重点实验室更多>>
发文主题:超硬射频磁控溅射N更多>>
发文领域:金属学及工艺更多>>
发文期刊:《真空科学与技术学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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N_2流量对TiAlCN涂层结构和性能的影响被引量:1
《真空科学与技术学报》2015年第7期831-836,共6页仇月东 曾宇乔 谭臻 张旭海 邵起越 谈淑咏 蒋建清 
国家自然科学基金项目(51201033;51301087);新教师基金项目(201100921265);江苏摩擦学重点实验室开放基金项目(kjsmcx1003P);江苏省先进材料实验室开放基金项目(AMM201101)
通过射频磁控溅射法制备了系列Ti Al CN涂层。研究结果表明,通过调节溅射过程中N2流量,Ti Al CN涂层的组成和结构均发生明显变化。很小的N2流量会导致Ti Al CN涂层的晶体结构发生显著变化。随着N2流量的增加,涂层物相组成由fcc-(Ti Al...
关键词:TiAlCN涂层 射频磁控溅射 纳米复合 超硬 摩擦 
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