刘晓旭

作品数:1被引量:1H指数:1
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发文主题:离子光学系统仿真研究透镜仿真艺术特色更多>>
发文领域:经济管理理学文学一般工业技术更多>>
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TOF-SIMS二次离子光学系统仿真研究被引量:1
《中国测试》2016年第1期130-133,共4页刘晓旭 齐国臣 包泽民 Stephen Clement 邱春玲 田地 龙涛 
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ050069)
为实现飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)对二次离子束的提取并提高仪器的调试效率,采用离子光学仿真软件SIMION 8.0对TOF-SIMS二次离子光学系统进行仿真。以稳定同位素铜离子为对象,通过仿真,研究二次离子光学系统中二次离子提取系统...
关键词:飞行时间二次离子质谱仪 二次离子光学系统 仿真 透镜电极电压 质量分辨率 
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