谢灯

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：华南师范大学光电子材料与技术研究所更多>>
发文主题：英文薄膜光学特性傅里叶红外光谱宽禁带半导体椭圆偏振光谱更多>>
发文领域：理学机械工程一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《光散射学报》更多>>
所获基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金广西壮族自治区自然科学基金更多>>
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基于CVD方法生长在硅基底上立方碳化硅的拉曼散射研究（英文）被引量：1
《光散射学报》2016年第2期125-130,共6页陈帅 谢灯 丘志仁 TIN Chin-che 王洪朝 梅霆 万玲玉 冯哲川 
中山大学光电材料与技术国家重点实验室开放课题和国家自然科学基金(11474365,61377055,61176085);广西相对论天体物理重点实验室广西自然科学基金创新团队项目(2013GXNSFFA019001);国家自然科学基金“基于铁电体微畴结构的平板集成高速电光器件研究”(AE0520088)
立方碳化硅(3C-SiC)薄膜通过化学气相沉积(CVD)制备在Si(100)衬底上。本论文主要通过椭偏光谱仪(SE)和拉曼散射仪对3C-SiC薄膜的微观结构和光学性能进行进一步的研究。根据SE的分析获得3CSiC薄膜厚度;根据拉曼散射的分析:可从TO模式和L...
关键词：3C碳化硅 光谱椭偏仪 拉曼散射 厚度 
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