王继伟

作品数:1被引量:1H指数:1
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供职机构:中国科学院上海高等研究院更多>>
发文主题:多晶硫化铋感应炉晶体缺陷热压更多>>
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所获基金:中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金更多>>
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多孔硅负载银纳米颗粒提高硅基MSM光电探测器性能的研究被引量:1
《电子元件与材料》2016年第11期16-20,共5页王继伟 陈海燕 李东栋 杨康 任伟 陈小源 
国家自然科学基金资助项目(No.11174308;No.51201108);中科院知识创新工程重要方向项目(No.KGCX2-EW-315)
利用金属辅助刻蚀的方法在单晶硅片表面制备了多孔硅,结果表明多孔硅表面纳米结构的陷光作用在宽光谱范围内大幅提高了硅片的光吸收率。将银纳米颗粒负载到多孔硅表面,研究了其对硅基金属-半导体-金属型光电探测器(MSM-PDs)性能的影响...
关键词:多孔硅 银纳米颗粒 光吸收率 局域表面等离子体共振 光电探测器 金属辅助刻蚀 
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