黎刚

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：四川大学更多>>
发文主题：能量损失计算机控制系统均匀性粒子束扫描测量更多>>
发文领域：理学一般工业技术更多>>
发文期刊：《强激光与粒子束》更多>>
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用α能损法测量薄膜厚度所需真空度的确定方法被引量：1
《强激光与粒子束》2016年第8期117-121,共5页许佳 徐家云 马小军 宋佳玲 黎刚 张敏超 王力 
国家自然科学基金委员会-中国工程物理研究院联合基金项目(U1330137)
用α能损法测量薄膜厚度及其厚度分布的均匀性是一种有效的新方法,但这种测量必须在真空室内进行,如何恰当地选择真空度对于提高测量精度和降低真空系统的建造成本都具有重要意义。通过采用SRIM软件模拟5.486 MeVα粒子在空气中的阻止本...
关键词：Α粒子 能量损失 真空度确定方法 薄膜厚度 
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