徐航宇

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
发文主题：光学性能加工误差分析面形误差自由曲面调制传递函数更多>>
发文领域：机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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基于光学性能评价自由曲面离轴三反系统加工误差分析被引量：8
《光学学报》2017年第8期184-192,共9页刘现磊 张效栋 徐航宇 曾臻 
国家自然科学基金(51375337,61635008)
超精密加工过程存在的加工误差影响着器件的面形误差,进而影响光学性能。制造者往往从面形精度方面来评价加工精度,但是光学性能才是光学系统的最终评价指标,仅仅关注加工过程中加工误差对单个面的面形误差影响是不够的,加工误差对系统...
关键词：测量 制造公差 加工误差 光学性能 面形误差 离轴三反系统 调制传递函数 
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