杨海龄

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供职机构：北京有色金属研究总院更多>>
发文主题：真空集热管减反射膜集热管太阳能真空集热管太阳能光热利用更多>>
发文领域：金属学及工艺动力工程及工程热物理一般工业技术建筑科学更多>>
发文期刊：《太阳能学报》更多>>
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TiAlON涂层微观结构与光学性质研究
《太阳能学报》2018年第12期3345-3349,共5页杜淼 米菁 张科 杨海龄 李世杰 于庆河 
国家科技支撑计划(2015BAA02B04)
通过控制氧气与氮气流量比,使用反应磁控溅射技术在抛光硅片表面制备TiAlON涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、光谱椭偏仪(SE)分析氧氮比对涂层的微观结构与光学性能的影响。结果表明,TiAlON涂层...
关键词：TiAlON涂层 微观结构 光学性质 椭偏光谱 
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