邓树军

作品数：1被引量：4H指数：1
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大直径直拉硅单晶等径的PID参数优化被引量：4
《稀有金属》2010年第6期945-949,共5页姜舰 邓树军 戴小林 吴志强 朱秦发 刘冰 
国家科技重大专项项目(2008ZX02401)资助
随着国内硅材料应用技术不断发展,在大直径单晶的直径生长控制方面除了在设备上采用更加先进的双CCD系统,同时也对单晶生长的直径PID提出了更加严格的要求,因此研究单晶生长的直径PID参数设置有着重要意义。以等径阶段PID参数设置为研...
关键词：大直径 直拉 单晶直径 PID参数 
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