孙惠明

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晶振子型气敏传感器及其作用的数理分析
《传感技术学报》1989年第4期60-61,共2页曲伟峰 孙惠明 唐省吾 李可为 
利用晶体振荡器内晶振子上沉积物质后会产生频偏的原理,制成镀膜工艺过程中膜厚监控仪的商品已早问世。但作为气敏元件却是目前掘起的较新方法,它已被应用于分析化学和环保监护等领域中。 晶振子型气敏传感器探头结构是在晶振子上涂覆...
关键词：气敏传感器 湿敏元件 晶体振荡器 传感器探头 监控仪 晶振 频偏 机电类比 频率稳定度 数理分析 
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