王晓媛

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国石油大学（华东）更多>>
发文主题：氧化铝SRTIO3薄膜法制极化电容器更多>>
发文领域：电气工程更多>>
发文期刊：《中国石油和化工标准与质量》更多>>
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在溶胶凝胶法制得的SrTiO_3薄膜电容器上阳极化氧化铝的影响被引量：1
《中国石油和化工标准与质量》2016年第14期32-33,共2页叶思源 王晓媛 
紧密的Al_2O_3薄膜是经过铝电极下的阳极化过程制造的,它作为溶胶凝胶法制得的SrTiO_3薄膜电容器的一层绝缘层。与没有阳极化处理过的薄膜电容器相比,有阳极化处理过的氧化铝层的薄膜电容器展现出更低的泄漏电流和更稳定的介电常数。铝...
关键词：SRTIO3薄膜 阳极电镀氧化铝 溶胶凝胶 
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