丁峰

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铱衬底上金刚石外延形核与生长:第一性原理计算
《无机材料学报》2024年第4期416-422,共7页王伟华 张磊宁 丁峰 代兵 韩杰才 朱嘉琦 贾怡 杨宇 
国家重点研发计划(2020YFA0709700,2016YFE0201600);国家自然科学基金(52072087);广东省重点研发计划(2020B010169002);黑龙江省自然科学基金(YQ2020E008);中央高校基本科研业务费专项资金(HIT.OCEF.2022048)。
异质外延为金刚石晶圆合成提供了一个有效的实现路径,而Ir衬底上金刚石形核生长技术经过20多年的发展已经有能力制备最大直径为3.5英寸的晶体,开启了金刚石作为终极半导体在电子信息产业应用的大门。然而,表面形核、偏压技术窗口、金刚...
关键词:金刚石 异质外延 形核生长 第一性原理 结合能 
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