邵霜霜

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供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题：墨水薄膜晶体管基底表面氢氧化铜喷墨打印更多>>
发文领域：一般工业技术电子电信更多>>
发文期刊：《半导体技术》更多>>
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基于喷墨打印的In_2O_3/IGZO TFT的电学性能
《半导体技术》2019年第5期349-355,共7页梁坤 邵霜霜 罗慢慢 谢建军 赵建文 崔铮 
国家重点研发计划资助项目(2016YFB0401100)
利用喷墨打印技术制备了非晶铟镓锌氧化物(IGZO)薄膜、铟氧化物(In_2O_3)薄膜和性能明显改善的双层In_2O_3/IGZO异质结沟道薄膜,研究了薄膜的物理与电学特性。结果表明,喷墨打印制备的金属氧化物薄膜具有较高的光学透过率与较低的表面...
关键词：非晶铟镓锌氧化物(IGZO) 喷墨打印 IN2O3 异质结沟道层 薄膜晶体管(TFT) 
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