杨耀

作品数:1被引量:3H指数:1
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SiCN/Si在纳米压痕过程中的塑性性能被引量:3
《工业技术创新》2017年第2期19-22,共4页杨耀 廖宁波 李峰平 
国家自然科学基金(51675384)
通过建立的SiCN/Si薄膜/基体系统,提出了一种分析纳米压痕过程中材料塑性性能的方法。用有限元方法模拟了纳米压痕过程,通过比对模拟和实验所得的载荷—压深曲线,反复修正,得到了SiCN薄膜的应力—应变曲线。同时模拟了不同最大压深下薄...
关键词:SiCN薄膜 纳米压痕 有限元 塑性性能 
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