王皓

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室更多>>
发文主题：布拉格光栅布拉格反射器波导DBR半导体激光器更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《电子测试》更多>>
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1064nm DBR半导体激光器结构的研究被引量：1
《电子测试》2017年第2期17-18,共2页王皓 
本论文主要在DBR光栅结构的设计和制备工艺方面开展了系统地研究工作,采用MOCVD系统对1064nm半导体激光器外延结构进行生长,通过湿法腐蚀工艺制备出了3.5μm宽的脊形波导。在DBR光栅制备过程中,采用325nm全息曝光系统对脊形波导进行全...
关键词：半导体激光器 布拉格反射器 布拉格光栅 激光器 波导 
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