刘冲

作品数：3被引量：13H指数：2
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供职机构：河海大学理学院更多>>
发文主题：仿真模拟光谱法光谱诊断射频等离子体更多>>
发文领域：理学机械工程医药卫生更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《强激光与粒子束》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金国家自然科学基金更多>>
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容性耦合射频氩等离子体放电诊断研究及仿真模拟被引量：6
《强激光与粒子束》2019年第3期8-15,共8页庞佳鑫 何湘 陈秉岩 刘冲 朱寒 
国家自然科学基金项目(61378037);中央高校基本科研业务费项目(2018B19814)
针对中等气压、中等功率下射频容性耦合(CCRF)等离子体的放电特性,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar为工作气体,研究同一气压时不同射频输入功率下等离子体电子温度和电子密度的分布规律。同时依据仿真...
关键词：容性耦合射频放电 等离子体 COMSOL仿真模拟 光谱法诊断 等效电路法 
射频容性耦合等离子体放电特性的光谱诊断被引量：5
《光谱学与光谱分析》2018年第4期1007-1013,共7页刘冲 何湘 张亚春 陈建平 陈玉东 曾小军 陈秉岩 朱卫华 
国家自然科学基金项目(51107033;61378037);中央高校基本科研业务费专项基金项目(2013B33614)资助
利用流体模型模拟和发射光谱实验诊断相结合的方法,研究了中等气压、中等功率下射频容性耦合等离子体的放电特性。理论上,采用基于流体模型的COMSOL软件仿真,建立一维等离子体放电模型,以Ar气为工作气体,研究了不同气压以及不同射频输...
关键词：容性耦合等离子体 COMSOL仿真模拟 光谱法诊断 
容性耦合等离子体的光谱诊断及其仿真模拟被引量：2
《光谱学与光谱分析》2016年第S1期469-470,共2页刘冲 何湘 朱卫华 
国家自然科学基金项目(51107033);中央高校基本科研业务费专项基金项目(2013B33614)资助
等离子体电磁辐射谱携带了大量有关等离子体内部的放电信息。利用等离子体光谱诊断的原理和实验技术,可以得到等离子体的一些参数,如电子数密度和电子温度等,且具有适用范围广、灵敏度高、操作相对简单、无干扰、光谱信息丰富、对不同...
关键词：光谱法诊断 射频放电 COMSOL仿真 
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