周衡

作品数：1被引量：7H指数：1
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供职机构：成都精密光学工程研究中心更多>>
发文主题：抛光光学元件反射镜光学工件更多>>
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多磨头数控抛光对大口径离轴抛物面镜中频误差的抑制被引量：7
《强激光与粒子束》2018年第6期41-46,共6页李智钢 鲍振军 朱衡 蔡红梅 周衡 
国家高技术发展计划项目
大口径非球面光学元件的面形中频误差对光路中的光斑扩散函数精度以及高能激光的能量散射有着直接的影响,针对该问题,提出一种计算机控制的多磨头组合抛光技术,用于对非球面元件中频误差的有效控制。对半刚性抛光盘抛光过程进行了力学...
关键词：数控抛光 离轴抛物面 中频误差 半刚性盘 匀滑抛光 
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