梁伟正

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化学计量比对BaTiO_3/Ni集成结构性能的影响
《电子科技大学学报》2015年第5期784-788,共5页杜辉 李洋 梁伟正 高敏 张胤 林媛 
国家自然科学基金(51372034);广东省引进创新科研团队计划(201001D0104713329)
该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积(PAD)法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡(BaTiO3)薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度...
关键词：钛酸钡 介电性能 漏电流 薄膜材料 
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