王紫玉

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供职机构：赣南师范大学更多>>
发文主题：传感器血吸虫尾蚴场效应分子识别快速检测技术研究更多>>
发文领域：自动化与计算机技术医药卫生理学化学工程更多>>
发文期刊：《半导体光电》更多>>
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一种用于生物检测的半导体电场效应传感器
《半导体光电》2012年第4期474-477,506,共5页袁寿财 王紫玉 范小林 
国家自然科学基金项目(30860073;50727803);江西省科技厅项目(2008GZH0018)
设计了一种简化的铝栅MOS半导体器件制作工艺流程,用6张掩模版成功制作出了基于表面电场效应原理的生物检测硅芯片传感器,采用SiO2-Si3N4复合栅介质层及耗尽型器件结构,以增强器件的识别与检测灵敏度。该传感器与常规铝栅MOS晶体管相比...
关键词：电场效应传感器 检测 制造 工艺 设计 生物 
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