徐睿

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：电子科技大学光电信息学院更多>>
发文主题：ER模型光谱氢化非晶硅薄膜BLOOM更多>>
发文领域：理学一般工业技术机械工程更多>>
发文期刊：《光学学报》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金更多>>
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氢化非晶硅薄膜的光谱椭偏研究被引量：3
《光学学报》2013年第10期293-300,共8页何剑 李伟 徐睿 郭安然 祁康成 蒋亚东 
中央高校基本科研业务费项目(ZYGX2012YB024)
氢化非晶硅(a-Si…H)薄膜在微电子和光电子工业中有着重要的应用,而椭偏分析技术是一种重要的薄膜表征手段。利用椭偏测量技术并采用Tauc-Lorentz(TL)模型和Forouhi-Bloomer(FB)模型,从不同角度对比研究了a-Si…H薄膜的结构和光学特性...
关键词：薄膜 椭偏分析 Tauc—Lorentz模型 Forouhi—Bloomer模型 
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