辛科

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：兰州大学物理科学与技术学院更多>>
发文主题：ITO形貌铟锡氧化物溶胶-凝胶法制备溶胶-凝胶更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《材料导报》更多>>
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热处理时间对溶胶-凝胶法制备ITO薄膜结构、形貌和性质的影响被引量：2
《材料导报》2009年第2期87-90,共4页高美珍 辛科 张锋 孙惠娜 
甘肃省科技攻关资助项目(2GS057-A52-004)
以InCl3.4H2O、SnCl4.5H2O、乙酰丙酮为原料,采用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上制备了ITO薄膜,每次旋涂之后,将样品放在260℃的烘箱中干燥15min,然后进行第二次旋涂,最后在300℃对样品进行热处理。随着退火时间的延长,XRD衍射结果...
关键词：铟锡氧化物 薄膜 溶胶-凝胶 热处理 
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