胡博

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：压电陶瓷采集卡压电陶瓷驱动器复合控制多通道数据采集系统更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《压电与声光》更多>>
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用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计被引量：4
《压电与声光》2013年第1期94-97,共4页胡博 唐小萍 胡松 胡志成 
西部之光联合学者项目支持基金资助项目(A10K012)
为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调。压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件。根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱...
关键词：压电陶瓷 驱动器 高压运放 高精度 仿真分析 
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