刘远

作品数：2被引量：2H指数：1
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供职机构：华中科技大学机械科学与工程学院数字制造与装备技术国家重点实验室更多>>
发文主题：大口径非均匀性镜片面形统计假设检验更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《半导体光电》《华中科技大学学报（自然科学版）》更多>>
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支撑力非均匀性对大口径光学镜片面形的影响被引量：2
《华中科技大学学报（自然科学版）》2013年第8期1-5,共5页罗欣 刘远 沈意平 周蕾 
国家重点基础研究发展计划资助项目(2009CB724205)
针对大口径光学镜片支撑点底面周向均布的柔性支撑系统,采用随机分析方法分析其支撑点上支撑力的随机不均匀性对镜片面形的影响规律.将柔性支撑系统的各点支撑力视为服从均匀分布的独立随机变量,随机产生多组支撑力数据,利用有限元方法...
关键词：大口径光学镜片 柔性支撑系统 支撑力随机波动 镜片面形 泽尼克多项式 统计假设检验 
装夹方式及预紧力对透镜像差特性的影响规律
《半导体光电》2013年第3期498-502,532,共6页周蕾 罗欣 刘远 
高精度光刻物镜中的光学透镜在自身重力以及装夹预紧力的作用下,面形会发生变化,从而会对光学系统各种像差造成影响。在考虑透镜自重的情况下,研究了镜片夹紧方式及夹紧力对其像差的影响规律。分别在镜片顶面和侧面施加2～6点均布、均...
关键词：光学镜片 装夹方式 光机集成分析 ZERNIKE多项式 有限元 
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