张良昌

作品数：1被引量：1H指数：1
导出分析报告
供职机构：电子科技大学更多>>
发文主题：氮化硅薄膜杨氏模量压应力氮化硅膜光学性能更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《电子科技大学学报》更多>>
所获基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家杰出青年科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
氮化硅薄膜热性能测试研究被引量：1
《电子科技大学学报》2009年第2期313-316,共4页蒲娟 吴志明 蒋亚东 熊昊 张良昌 
国家杰出青年基金(60425101);教育部新世纪优秀人才计划(NCET-04-0896)
提出了一种可以测试氮化硅薄膜热导、热容的方法。该方法采用微机械加工技术制作成悬空结构,利用Pt薄膜来做加热与测温电阻。设计了合理的测试方案来减小测试过程中Pt薄膜附加热导、热容带来的影响。用Matlab模拟了结构的热响应特性。...
关键词：Pt薄膜 氮化硅薄膜 热导 热容 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部