张晓东

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题：铁电读出电路铁电薄膜材料性能单片集成更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《红外与毫米波学报》更多>>
所获基金：上海市基础研究重大（重点）项目国家自然科学基金更多>>
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用SiO_2气凝胶做隔热层的铁电薄膜红外探测器性能与铁电薄膜层厚度的关系被引量：4
《红外与毫米波学报》2007年第5期329-331,335,共4页林铁 孙璟兰 孟祥建 马建华 石富文 张晓东 汪琳 陈静 褚君浩 
国家自然科学基金资助项目(60371040);上海市科委基础研究重点项目(03JC14076)
研究了铁电薄膜红外探测器响应率等器件参数随铁电薄膜厚度的变化.器件的隔热层结构采用气凝胶二氧化硅.实验发现器件的热释电系数,吸收率以及热导均随膜厚增加而增加.铁电膜层厚度为240nm的器件,其热导与微桥结构器件的热导相近,都为10...
关键词：红外探测器 铁电薄膜厚度 二氧化硅气凝胶 
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