孙科沸

作品数：1被引量：10H指数：1
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供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文主题：钕铁硼磁控溅射靶真空室氮分压NDFEB更多>>
发文领域：金属学及工艺一般工业技术电气工程更多>>
发文期刊：《中国表面工程》更多>>
所获基金：中国博士后科学基金浙江省自然科学基金更多>>
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氮分压对钕铁硼表面直流磁控溅射沉积AlN/Al防护涂层结构和性能的影响被引量：10
《中国表面工程》2010年第3期80-83,共4页李金龙 冒守栋 孙科沸 宋振纶 
中国博士后基金(20090450737);浙江省自然科学基金(Y4090178)
采用直流磁控溅射在钕铁硼表面沉积AlN/Al双层防护薄膜来提高磁体的耐腐蚀性能。先在基体表面沉积纯Al薄膜,然后沉积外层AlN薄膜。沉积AlN薄膜时,改变氮气分压,研究氮分压对薄膜结构和耐腐蚀性能的影响。结果显示,AlN纳米颗粒形成于内...
关键词：NDFEB AlN/Al膜 结构 腐蚀性能 
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