李厚训

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硼掺杂四面体非晶碳薄膜的光学特性研究
《化工新型材料》2013年第5期109-112,共4页桂全宏 骆琳 汪桂根 张化宇 韩杰才 李厚训 严帅 
国家自然科学基金项目(50902028和51172054)资助
采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同硼含量的掺杂四面体非晶碳薄膜(ta-C:B)。使用椭偏仪和紫外-可见光分度计测试了薄膜的折射率、消光系数、透过率和反射率。结果表明,硼含量小于2.13%时,硼含量增加,薄膜折射率缓慢增大;消光系数基本...
关键词:薄膜 硼掺杂四面体非晶碳膜 椭圆偏振光谱法 光学特性 
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