李宏远

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基于最优加权的大面积金刚石膜衬底温度数据融合研究
《中国机械工程》2011年第14期1676-1679,共4页汪洪波 李宏远 
为保证大面积金刚石镀膜衬底温度均匀,采用多只温度传感器多点测量衬底表面温度。为滤除测量噪声,采用最优加权融合方法对每一时刻多只传感器测量的温度进行数据融合,并分别采用最小二乘、Bayes估计、递推最小二乘法进行第二步数据融合...
关键词：大面积镀膜 温度测量 数据融合 最优加权 
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